微电子和半导体行业的检验、流程控制或缺陷和故障分析必须又快又准。为此，徕卡公司针对日常应用开发出高效能的 DM3 XL 检验系统。
DM3 XL 检验系统提供一种独特的宏观物镜，视场达到 35.7 mm，比常规扫描物镜宽敞 30%。操作员可轻松快速地扫描高达 6” 的大型组件并迅速检测缺陷。边缘或晶片中心显影不足的区域以及不均匀的径向膜厚度均清晰可见。
针对各种样品尺寸类型，DM3 XL 系统可提供不同的载物台插件选择，例如金属插件、晶片支座或掩模支座。操作员可在载物台上轻松定位样品和感兴趣区域。150 mm x 150 mm 载物台帮助用户实现快速的粗略或精准载物台定位。
舒适的工作条件可实现更高的效率和更上乘的质量，因此徕卡公司设计出一套高度方便用户的操作理念。凭借易于操作的控件，用户可在切换对比技术或照明时，将双眼专注于样品之上，双手操作显微镜。借助集成 LED 照明，DM3 XL 系统可提供恒定的色温，并能够在所有照明强度下提供真彩色成像。
选择专用软件模块和适用于高效、高品质分析和记录的显微镜摄像头，即可轻松升级。
更多细节尽收眼底，工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件，DM3 XL 提供独特的宏观物镜。
利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
在宏观物镜下，缺陷无所遁形：
提高您的收益率
可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
检测不均匀的径向膜厚度
适用于所有相衬观察方法的 LED
DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
在所有亮度等级下实现真彩色成像
自由调节
无需更换灯泡 – 无停机时间
可复制的结果
由于 LED 使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。
DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。
采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑：以简单有效的方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。
借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。
您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。
不同样品 – 可变载物台插件
无论您想要检验的样品是哪种类型，尺寸如何，均有种类丰富的载物台插件供您选择：
载物台尺寸：150 mm x 150 mm
载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座
快速的粗略或精准载物台定位
工作舒适直观
彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化，有助于提升您的工作速度，并大程度减少操作失误。
直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付佳结果。
得益于可轻松操作的控件，用户可在切换对比度或照明时，双手继续操作显微镜，双眼专注于样品之上。
右手可轻松操控光强控制器
使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮，根据不同身高调整显微镜
